진공 베이크아웃(Vacuum Bake-out)은 고진공 환경에서 열을 가해 소재 내부의 휘발성 물질을 강제로 배출(Degassing) 시키는 공정입니다. 이 과정은 소재의 아웃개싱을 사전에 낮추어, 광학 센서나 위성 탑재체에서 발생할 수 있는 치명적인 분자 오염을 방지합니다. 베큐멕스의 베이크아웃 챔버는 MSFC-SPEC-1238 및 ECSS-Q-ST-70-01C 규격에 맞춰, 방출된 가스가 시료에 재흡착되는 것을 막기 위한 극저온 패널과, 실시간으로 아웃개싱 발생량을 모니터링하는 QCM 센서를 통해 전문적인 베이크아웃 서비스를 제공합니다.
Key Parameter: View Factor
왜 베이크아웃 공정 시 시료를 챔버 가득 채우면 안될까요? 고진공이라는 특수한 상황이 만드는 유효 가시 인자(View Factor) 때문입니다.
고진공 환경의 분자류(Molecular Flow) 상황에서는 가스 분자가 다른 입자와의 충돌 없이 직선으로 움직입니다. 시료들이 빽빽하게 적재되어 적절한 유효 가시 인자가 확보되지 않으면, 방출된 가스는 배출되지 못하고 다시 재흡착 되며 시료 사이에 갇히게 됩니다.
Vacuumex's Special Solution: Continuous TQCM Monitoring
베큐멕스는 베이크아웃 전 과정 동안 TQCM(Temperature-controlled Quartz Crystal Microbalance) 센서를 상시 가동하여 소재에서 방출되는 아웃개싱 변화량을 실시간으로 추적합니다. 이를 통해 베이크아웃 진행 과정의 시작부터 종료 순간까지, 데이터를 비교 분석하여 오염 물질이 목표 기준치까지 얼마나 효과적으로 제거되었는지 검증합니다. 고객은 이 데이터 리포트를 통해 베이크아웃에 따른 아웃개싱 감소량과 최종 청정도를 정량적으로 확인할 수 있습니다.
Vacuumex's Bake-Out Chamber(BOC) Specification
[장비 사양]
Internal Chamber Size: 500(W) X 500(D) X 65(H) mm
Ultimate Pressure: < 1.0E-6 Torr
Operating Temperature: 25℃ ~ 200℃
Outgassing Analysis: Real-time TQCM
[시험 환경]
Cleanliness: < Class 100,000
Temperature: (23±2) ℃
Humidity: (50±5) %R.H.
주식회사 베큐멕스 ㅣ 경기도 안양시 동안구 시민대로398, 인덕원역더리브디하우트 공장동 513호
